核心產(chǎn)品
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> 核心產(chǎn)品 > 復(fù)合材料制備
CVD系列氣相沉積爐
| 序號(hào) | 技 術(shù) 項(xiàng) 目 | 主 要 技 術(shù) 參 數(shù) |
| 1 | 規(guī) 格 型 號(hào) | □□CVD-□□□>連接產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)編制說(shuō)明 |
| 2 | 結(jié)構(gòu)與安裝形式 | 圓形（方形）立式（臥式） |
| 3 | 有效裝料空間 | 10-8000L(或根據(jù)客戶要求定制） |
| 4 | 極限使用溫度 | 1150℃-1600℃ |
| 5 | 常用工作溫度 | 950℃-1500℃ |
| 6 | 最小使用壽命 | 3000次循環(huán) |
| 7 | 溫度均勻性能 | ±5~15℃ |
| 8 | 發(fā)熱體材料 | 石墨/碳碳復(fù)合材料 |
| 9 | 適應(yīng)氣氛 | 苯烯、天然氣等碳?xì)錃怏w/氮?dú)獾榷栊?/span>保護(hù)氣氛/真空 |
| 10 | 可控爐壓 | 20Pa（真空）-- 0.02MPa（微正壓） |
| 11 | 供 電 電 源 | 三相AC380V/50Hz |
| 12 | 泵 噪 音 | ≤85dB（A） |
臥式結(jié)構(gòu)爐型：采用水平移動(dòng)方式開(kāi)關(guān)爐門（本公司專利：ZL2010 2 0139780.5），由液壓缸驅(qū)動(dòng)，料臺(tái)（物料裝在料臺(tái)上）與爐門鉸接，隨爐門水平移動(dòng)進(jìn)出爐膛（爐子加熱區(qū)）；小型爐子的爐門采用手動(dòng)倒扣人工鎖緊，大型爐子采用液壓倒扣（本公司專利：ZL2014 2 2253066.2）自動(dòng)鎖緊。
立式結(jié)構(gòu)爐型：采用垂直升降方式開(kāi)關(guān)爐門（本公司專利：ZL2008 2 159541.9），由液壓缸驅(qū)動(dòng)、鏈條帶動(dòng)或電動(dòng)減速機(jī)驅(qū)動(dòng)、絲桿傳動(dòng)（兩種方式可選），料臺(tái)與鏈條或絲桿連接，垂直升降進(jìn)出爐膛；小型爐子的爐門采用手動(dòng)倒扣人工鎖緊，大型爐子采用液壓旋扣自動(dòng)鎖緊。為操作方便與安全，當(dāng)料臺(tái)降到地面時(shí)，本公司設(shè)計(jì)有料臺(tái)從爐底移出機(jī)構(gòu)供客戶選擇。
供排氣方式：大面積多點(diǎn)均勻進(jìn)氣、大面積多管均勻抽排氣、中段多點(diǎn)補(bǔ)氣，爐內(nèi)氣體近乎直線型流動(dòng)。由氣體質(zhì)量流量計(jì)和浮子流量計(jì)組合控制各點(diǎn)進(jìn)氣量，耐腐蝕抗粉塵真空泵抽排氣。（本公司專利：ZL2011 2 0401891.3）
尾氣處理：采用先膠油過(guò)濾后粉塵過(guò)濾組合處理。
爐壓控制系統(tǒng)、加熱與溫度控制系統(tǒng)、電氣控制與系統(tǒng)保護(hù)：詳見(jiàn)《電氣控制系統(tǒng)》描述。
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