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TC系列溶劑脫脂槽
CVD系列氣相沉積爐
SJ系列氣壓燒結(jié)爐
SJ系列燒結(jié)爐

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煅燒爐B104X95

多晶硅后處理設(shè)備

石墨件煅燒、石墨件與硅芯烘干與儲存、硅棒破碎
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主要技術(shù)參數(shù)
工作原理與系統(tǒng)控制

1.石墨件處理:真空烘烤脫水并儲存>石墨件真空烘箱(多層抽屜式裝料)

2.硅 芯 存 放:真空環(huán)境下烘烤儲存>硅芯真空烘箱(多層抽屜式裝料)

3.石墨件脫水:熱風(fēng)烘烤脫水>石墨件熱風(fēng)烘箱(多層抽屜式裝料)

3.石墨件純化:真空煅燒處理>石墨件高真空煅燒爐(立式底部升降式裝卸料)

4.硅 棒 破 碎:硅棒加熱急冷式淬裂>硅棒熱淬爐(列管式裝料)

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